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    • 簡介:進入21世紀以來微細加工技術作為MEMS微機電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化的重要基礎發(fā)展非常迅速。LIGA即光刻、電鑄和注塑與UVLIGA技術是兩種非常重要的微細加工技術。在微納加工領域經(jīng)常會需要一些具有高深寬比的微結構而LIGA和UVLIGA技術的工藝特點就是制備具有高深寬比的微結構。LIGA與UVLIGA技術的工藝過程主要區(qū)別在于LIGA技術的曝光光源為同步X射線源UVLIGA技術只需紫外光源即可。由于同步X射線源非常昂貴相比LIGA技術UVLIGA技術成本很低更加適合推廣應用。本論文重點研究了UVLIGA技術的工藝過程對SU8光刻膠的紫外光刻工藝進行了參數(shù)優(yōu)化設計并搭建了兩種直流微電鑄的實驗平臺探討了直流微電鑄工藝中各參數(shù)對微電鑄結果的影響確定了最優(yōu)參數(shù)。主要內(nèi)容如下1SU8光刻膠紫外光刻工藝通過對SU8系列光刻膠紫外光刻原理的分析與研究確定實驗方案。通過多次對比實驗分析光刻過程中不同參數(shù)對實驗結果的影響并針對性地給出改進方案最終獲得最優(yōu)參數(shù)下的非常理想的實驗結果。2微電鑄平臺搭建通過初步分析設計了封閉式電鑄盒微電鑄平臺搭建并進行實驗后發(fā)現(xiàn)溫度和PH的精確控制、陰極的密封處理對直流微電鑄結果的影響非常大另外超聲的無法加入也成為封閉式微電鑄平臺非常嚴重的缺點。通過對上述缺點針對性的修改本論文設計、搭建了開放式電鑄槽微電鑄平臺通過增加電鑄槽體積、加入水冷循環(huán)系統(tǒng)、引入超聲裝置進一步改善了直流微電鑄的效果。3直流微電鑄實驗結合相關文獻選擇了氨基磺酸鎳電鑄液體系作為實驗環(huán)境采用多次對比實驗分析了直流微電鑄工藝中各參數(shù)包括電鑄液溫度、電流密度和PH值對金屬鎳鑄層的影響得到了該實驗平臺下的最優(yōu)工藝參數(shù)。本論文通過對SU8系列光刻膠的紫外光刻工藝參數(shù)的分析、優(yōu)化得到了側壁陡直、強度足夠、深寬比優(yōu)于101的SU8光刻工藝結果。通過對直流微電鑄平臺的改進、微電鑄參數(shù)的優(yōu)化最終得到了鑄層光亮、均勻理想的直流微電鑄結果。
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      上傳時間:2024-03-09
      頁數(shù): 65
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    • 簡介:隨著企業(yè)信息化的快速發(fā)展傳統(tǒng)二維工藝自身的技術流程繁瑣、不易管理、技能要求高等諸多缺點日益突顯。與此同時制造業(yè)的進一步發(fā)展促使了三維工藝的迅猛發(fā)展三維工藝取代二維工藝成為了必然的趨勢。目前三維工藝設計系統(tǒng)一般集成了PROE、CAD等大型建模軟件導致了整個系統(tǒng)結構復雜、運行環(huán)境要求高等諸多不便不適用于工藝設計過程的加工瀏覽阻礙了三維工藝的推廣應用。本文結合工程實際要求對基于PROE的三維工藝系統(tǒng)進行了研究結合相關頁面發(fā)布技術開發(fā)了一套基于PROE的三維工藝系統(tǒng)的工藝發(fā)布系統(tǒng)以便于工藝設計結果瀏覽大大提高了基于PROE的三維工藝系統(tǒng)的企業(yè)應用價值。本文首先對工藝發(fā)展趨勢進行了介紹指出了工藝發(fā)布必要性并對一般網(wǎng)頁發(fā)布技術進行了概述。然后介紹了基于PROE的三維工藝系統(tǒng)分析了三維工藝系統(tǒng)的結構組成及數(shù)據(jù)管理隨后按照三維工藝系統(tǒng)的呈現(xiàn)形式介紹了發(fā)布系統(tǒng)的總體設計方案并且對系統(tǒng)布局、系統(tǒng)設計、工藝數(shù)據(jù)與發(fā)布系統(tǒng)關聯(lián)、局部發(fā)布、遠程發(fā)布等關鍵技術展開了深入研究分析最后通過機加階梯軸工藝設計結果的發(fā)布介紹了整個發(fā)布系統(tǒng)的具體操作應用。
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      上傳時間:2024-03-09
      頁數(shù): 74
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      ( 4 星級)
    • 簡介:山東理工大學山東理工大學碩士學位論文重質油重質油分子蒸餾分子蒸餾工藝技術研究工藝技術研究與優(yōu)化優(yōu)化設計設計HEAVYOILMOLECULARDISTILLATIONTECHNOLOGYRESEARCHOPTIMIZATION研究生張珍珍張珍珍指導教師傅忠君教授傅忠君教授協(xié)助指導教師宋峰宋峰申請學位門類級別工程工程碩士碩士學科專業(yè)名稱化學工程化學工程研究方向化工分離新技術化工分離新技術論文完成日期2013年4月20日分類號TQ0218密級單位代碼10433學號Z1111353山東理工大學碩士學位論文摘要I摘要本文在研究減壓渣油物理化學性質及小試分子蒸餾基礎上,通過研究分子蒸餾分離渣油過程溫度、殘壓、刮膜轉速及預熱溫度對輕餾分油收率和粘度關系影響,優(yōu)化了工藝技術條件。在考察單因素條件對蒸餾收率及質量基礎上,通過正交試驗進一步優(yōu)化工藝。根據(jù)正交實驗因素對目標值極差分析,確定了蒸餾溫度、壓強、預熱溫度、刮膜轉速等因素對分子蒸餾分離減壓渣油工藝的影響效果。并獲得了該工藝的最佳工藝條件為壓強為15PA,蒸餾溫度為253℃,刮膜轉速為230RMP,預熱溫度為180℃。在獲得小試實驗數(shù)據(jù)及技術參數(shù)基礎上,設計了分子蒸餾器中試設備。通過確定任務計算液膜厚度為033MM,平均停留時間為67S,分子蒸餾器的筒體高度為1200MM,分子蒸餾器的內(nèi)徑為300MM,加熱蒸發(fā)面積為094M2,內(nèi)冷器的冷凝面積22M2。在此基礎上,選擇真空機組,送料油泵等配套設備。在所設計蒸餾裝置上進行分子蒸餾分離重質渣油減量化實驗,輕餾分油收率平均為15,減壓渣油重組分的殘?zhí)恐?比原料重油略有提高,機械雜質≤3,100℃運動粘度325MM2S,硫含量0012。通過對分子蒸餾分離重質油減量化技術經(jīng)濟評價,采用分子蒸餾蒸出蠟油餾分可作為催化裂化原料,提高重質油減量化程度,具有一定技術及經(jīng)濟可行性。關鍵詞關鍵詞分子蒸餾;重質渣油;減量化;
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      上傳時間:2024-03-09
      頁數(shù): 61
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      ( 4 星級)
    • 簡介:隨著柴達木盆地烏南油田勘探程度的日趨提高,新增探明儲量中低滲、低壓、低產(chǎn)油藏儲量的比例逐年增大,原有儲層改造工藝已難以滿足現(xiàn)場生產(chǎn)需求,如何有效開發(fā)此類難動用儲量并提高“三低”油藏增產(chǎn)效果已成為限制該區(qū)塊開發(fā)效果的關鍵問題。儲層地質分析和巖石力學結果表明,研究區(qū)塊儲層壓力小、斷層多而復雜,存在高破裂壓力、強塑性的特征,造成壓后返排困難,結合生產(chǎn)及增產(chǎn)措施歷史分析,確定壓裂液和返排問題是限制油井產(chǎn)量的關鍵,為此,針對柴達木盆地烏南油田儲層“三低”特點,開展適用于該儲層的壓裂工藝技術應用研究。首先,通過室內(nèi)實驗,對可在酸性條件下交聯(lián)的壓裂液體系進行篩選實驗,并結合儲層減小水敏和應力敏需求,確定了適用于不同溫度范圍的自生氣增能壓裂液體系,并進行了各指標測試、儲層傷害分析以及敏感性分析,均滿足“三低”儲層要求其次,通過支撐劑沉降試驗、直徑對比、壓裂后產(chǎn)量變化分析,綜合經(jīng)濟因素確定了不同深度儲層適用的支撐劑再次,分別設計聯(lián)作泵返排工藝、氮氣伴注返排工藝,并進行了現(xiàn)場試驗,對比可得聯(lián)作泵快速返排技術在烏南油田較為適用最后,以30天產(chǎn)量為指標,利用FRACPROPT軟件模擬得到不同儲層滲透率條件下優(yōu)化的裂縫參數(shù)和施工參數(shù),相同儲層厚度下,隨著滲透率的增大,優(yōu)化裂縫長度減小,優(yōu)化導流能力增大,最優(yōu)砂量、排量、砂比、攜砂液用量分別為146M3、34M3MIN、1825%、80M3。經(jīng)過現(xiàn)場試驗和措施效果評價表明以上措施適用于本文研究區(qū)塊,最終所形成的一套壓裂工藝技術可以為整個柴達木盆地“三低”儲層的高效開發(fā)提供技術參考。
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      上傳時間:2024-03-09
      頁數(shù): 72
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    • 簡介:近年來,機械制造業(yè)自動化水平的提高促進了國防工業(yè)的飛速發(fā)展。當前,國防工業(yè)產(chǎn)品對復雜型面機械零部件的需求越來越迫切。而且,產(chǎn)品苛刻的使役環(huán)境要求這些復雜型面零件加工表面精度需達到較高水平,此時拋光便成了不可或缺的加工工序。然而,由于零件型面的復雜,拋光時極易出現(xiàn)干涉碰撞問題,導致該工序多數(shù)仍手工進行。鑒于此,本文對自動拋光技術展開了研究,主要內(nèi)容如下。1構建了以五軸立式加工中心DMU60為基礎的拋光試驗系統(tǒng)。DMU60可實現(xiàn)多軸聯(lián)動,滿足復雜型面零件自動拋光要求。同時,該系統(tǒng)中的彈性拋光盤可實現(xiàn)拋光工具與工件間的柔性接觸。因此,整個系統(tǒng)滿足本文拋光工藝實驗條件要求。2進行了材料去除特性分析。圍繞拋光工具及工件建立接觸模型,利用有限元的方法分析接觸模型獲得接觸區(qū)域壓強分布規(guī)律,在此基礎上建立了材料去除深度模型。同時為保證材料去除均勻,依據(jù)去除深度模型及刀路疊加效應優(yōu)化了拋光行距,得到了合理行距值。3完成了平面及曲面模型的拋光工藝實驗。首先制訂了銑拋工藝方案,確定了銑削及拋光工藝參數(shù),規(guī)劃了拋光過程中的加工軌跡然后圍繞模具鋼DN1370進行了平面及曲面拋光工藝實驗,拋光表面都達到了鏡面效果,實驗結果證明了本文拋光工藝方案的可行性最后完成了拋光工藝參數(shù)對表面粗糙度影響規(guī)律的探究試驗,獲得了RA隨工藝參數(shù)的變化規(guī)律。4基于響應曲面法建立了拋光表面粗糙度預測模型并對工藝參數(shù)進行了優(yōu)化。該部分以中心復合設計試驗原則設計了四因素五水平的響應曲面試驗。對試驗數(shù)據(jù)方差分析后建立了關于表面粗糙度RA的二階響應曲面預測模型,依據(jù)模型分析了各個工藝參數(shù)對RA的作用規(guī)律。基于預測模型對拋光工藝參數(shù)進行了優(yōu)化,得到了較高合意度的工藝參數(shù)組合。
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      上傳時間:2024-03-09
      頁數(shù): 73
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    • 簡介:研制具有自主知識產(chǎn)權的數(shù)字化、精密化、智能化全電動塑料注射機,對提高注射機的檔次、技術含量和附加值,提升我國塑機制造企業(yè)的國際競爭力,具有重要意義。在此背景下,本文對全電動塑料注射機工藝控制關鍵技術進行了深入研究,基于LINUX操作環(huán)境與華中數(shù)控HNC8數(shù)控平臺研發(fā)出智能型工藝控制原型系統(tǒng)。以適應全電動注射機的控制系統(tǒng)為研究對象,考慮控制系統(tǒng)的模塊化、數(shù)字化、可拓展性等功能要求,提出了全電動注射機控制系統(tǒng)的整體架構方案,實現(xiàn)了系統(tǒng)的軟、硬件拓撲結構設計,并對工藝控制部分所涉及的關鍵單元技術進行了合理規(guī)劃,指出實施精密注射成型工藝過程,必須解決塑化工藝控制、注射過程控制以及工藝設置智能化等關鍵單元技術。穩(wěn)定的塑化熔體質量是獲得優(yōu)質成型產(chǎn)品的前提要件,將塑化工藝條件的設置建立在科學的基礎上是獲得塑化完全且分布均勻熔體的有益嘗試。以TADMKLEIN擠出塑化模型為基礎,考慮注射成型的動態(tài)熔融特性,對其進行合理修正,構建出適應于注射成型的塑化理論模型,實現(xiàn)對熔體塑化過程的定量計算,為塑化工藝參數(shù)的優(yōu)化提供了理論模型。利用所建立的塑化理論模型,以螺桿頭前端熔體溫度最小偏差為優(yōu)化目標,實現(xiàn)塑化工藝條件的優(yōu)化設置,為提高熔體塑化質量提供有效的理論與方法支持。為了獲得一致的螺桿注射起點,結合實際,基于兩軸聯(lián)動系統(tǒng)對全電動注射機塑化階段螺桿運動行程進行工藝控制規(guī)劃。在此基礎上,為了進一步保護重要塑化元件,改善成型條件,以軟功能模塊的形式,提出對料筒中螺桿進行自動清洗的功能控制方案,實現(xiàn)了螺桿的自動清洗功能。注射過程是決定產(chǎn)品成型質量的重要工藝階段,研究熔體在注射過程中的動態(tài)演變規(guī)律對提高產(chǎn)品質量、縮短產(chǎn)品成型周期具有重要意義。詳細分析了超聲波在注射過程中對熔體充模的響應特性,利用超聲回波信號提取熔體流前、壓力轉換、冷卻固化以及脫模等工序信息,并將其應用于注射過程的VP切換、保壓時間與冷卻時間的確定與實時控制。作為一種新的工藝控制方法,將超聲檢測與全電動注射過程控制技術進行結合,進一步拓展了注射過程的工藝控制內(nèi)涵。合理優(yōu)化的工藝參數(shù)是實現(xiàn)穩(wěn)定生產(chǎn)、獲取優(yōu)質產(chǎn)品的關鍵。利用初始工藝參數(shù)生成與模糊推理優(yōu)化技術構建了工藝智能模型。初始工藝參數(shù)生成利用在線生成與離線預測相結合的生成獲取方案,在線生成以實例庫與規(guī)則庫中存儲的成型案例與專家經(jīng)驗對其進行實例推理與規(guī)則推理的方法獲得;為降低過度依靠先念知識存在的系統(tǒng)風險,離線預測應用正交試驗、CAE仿真分析與支持向量分類機SVM構建初始工藝參數(shù)所屬的工藝窗口,通過工藝窗口確定初始工藝參數(shù)的可行解范圍的方法獲?。荒:评硗ㄟ^對專家知識庫與模糊規(guī)則庫的推理計算分別決定工藝參數(shù)的調(diào)整方向與調(diào)整幅度,實現(xiàn)工藝參數(shù)的智能調(diào)定,從而最終獲得優(yōu)化的工藝參數(shù)成型方案,成型出合格產(chǎn)品。在上述關鍵技術理論與方法的基礎上,研發(fā)出適應于全電動注射機的工藝控制原型系統(tǒng),通過對其進行綜合測試,驗證所提方法的有效性與可行性。
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      上傳時間:2024-03-09
      頁數(shù): 219
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    • 簡介:在晶硅電池的研究領域當中,創(chuàng)新結構的HITHETEROJUNCTIONWITHINTRINSICTHINFILM太陽電池具有結構簡單、制作工藝簡單、高效率、高穩(wěn)定性、低成本等特點。因此,HIT太陽電池吸引著越來越多研究者的興趣。本文著重研究了HIT太陽電池本征非晶硅層和P型非晶硅層的制備工藝,以及單晶硅襯底的織構和圓滑工藝,同時簡單研究了本征非晶硅厚度和氫處理時間對太陽電池性能的影響。對各項工藝參數(shù)進行了優(yōu)化,為后續(xù)獲得高效率的HIT太陽電池提供了參考。采用等離子增強化學氣相淀積PECVD制備HIT太陽電池的本征非晶硅層和P型非晶硅層。通過研究不同沉積參數(shù)對薄膜生長速率、光學帶隙、暗電導以及太陽電池開路電壓的影響,對非晶硅層的制備工藝進行了優(yōu)化。本征非晶硅層的沉積參數(shù)優(yōu)化為襯底溫度350℃,硅烷濃度20%,射頻功率4W,本征非晶硅薄膜厚度為33NM。P型非晶硅層的沉積參數(shù)優(yōu)化為襯底溫度350℃,硼烷硅烷比1%,射頻功率8W。對沉積非晶硅層前的單晶硅襯底進行氫處理,氫處理能夠有效鈍化單晶硅襯底表面,為后續(xù)工藝提供良好環(huán)境。氫處理的時間優(yōu)化為40S。優(yōu)化后的工藝制備的太陽電池效率達到1556%。采用堿性腐蝕液對單晶硅襯底進行表面織構。通過研究腐蝕溫度、異丙醇IPA濃度、氫氧化鈉NAOH濃度、腐蝕時間對單晶硅襯底表面反射率的影響,對單晶硅襯底織構的工藝參數(shù)進行了優(yōu)化。單晶硅襯底織構的優(yōu)化參數(shù)為80℃,3VOL%IPA,11WT%NAOH,225MIN,03VOL%添加劑??棙嫼蟮膯尉Ч枰r底反射率為1168%,在表面形成分布、大小均勻的金字塔狀結構,金字塔結構基底寬度為24ΜM。對織構后的單晶硅襯底采用酸性溶液進行圓滑處理。研究不同腐蝕時間對單晶硅襯底表面反射率和表面形貌的影響。圓滑工藝的腐蝕時間優(yōu)化為60S。優(yōu)化后的制絨和圓滑工藝對太陽電池的各方面性能都有所提升。
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      上傳時間:2024-03-09
      頁數(shù): 64
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    • 簡介:與牛、羊肉相比,黑山羊肉具有高瘦肉、低脂肪、低膽固醇、肉嫩多汁、易消化等特點,其皮下和肌內(nèi)脂肪都較少,但體脂肪較高,其味甘性溫,益氣補虛,強壯筋骨,具有獨特的營養(yǎng)保健功能。近年來隨著人們生活水平的不斷提高和對食品營養(yǎng)價值認識的改變,山羊肉越來越受到國內(nèi)外消費者的歡迎。黑山羊肉是一種集營養(yǎng)與保健于一體的優(yōu)質保健性食品,具有較好的開發(fā)利用價值。肌肉的成熟是動物宰后由肌肉向肉的轉變過程,在這個過程中,肌肉組織中的糖類、含磷有機物、蛋白質等均發(fā)生了一系列復雜的生化反應。宰后經(jīng)過成熟的肉,其肉質柔軟富有彈性、色澤較佳、風味較好,極大的改善了肉制品的食用品質。本文以大足黑山羊后腿肉為材料,研究了宰后成熟對大足黑山羊理化性質、揮發(fā)性風味物質及肌原纖維蛋白質功能性質的影響,以期為山羊肉成熟工藝(時間)的制定提供理論依據(jù)和技術指導同時比較了真空包裝和氣調(diào)包裝對大足黑山羊冷鮮肉貯藏過程中感官指標和理化性質的影響,旨在尋找適合冷鮮山羊肉的保鮮方法,為延長冷鮮山羊肉在冷鏈銷售系統(tǒng)中的貨架期提供參考。主要研究結果如下1成熟時間對羊肉的滴水損失、色澤和剪切值均有顯著影響。成熟期間各指標間存在一定的相關性,其中剪切值與蒸煮損失存在極顯著正相關P<001。隨著宰后成熟時間的增加,羊肉的色澤指標呈下降趨勢,而滴水損失逐漸增加,剪切值和蒸煮損失在成熟24H時均達到最大值,此時羊肉的品質較差。隨著羊肉進入解僵階段,其肉質變軟,保水性、風味等均增加,適于深加工。在成熟168H時,肉色變暗,表面稍有粘手,可食用性降低。2羊肉宰后成熟過程中,其PH值、糖原、肌原纖維小片化指數(shù)MFI、揮發(fā)性鹽基氮TVBN含量及硫代巴比妥酸值TBARS等化學指標均發(fā)生了顯著的變化。羊肉在24H時達到僵直最大值,其PH值在72H后雖繼續(xù)升高但變化不顯著P>005,糖原平均含量在24H時降至936±539MG100G,之后變化不顯著P>005。羊肉的MFI、TVBN含量和TBARS值隨著成熟時間的增加都呈增加的趨勢,其中MFI和TVBN及TBARS值間存在極顯著的正相關(P<001)。成熟72H前,羊肉的TVBN含量均小于15MG100G,為新鮮肉。成熟168H時,其TBARS值超過了新鮮肉制品脂肪酸敗的臨界值。3在羊肉宰后成熟過程中,共檢測出八類揮發(fā)性風味物質,分別為烴類、醛類、醇類、酮類、芳香族、酸類、醚類和雜環(huán)類化合物,其中醛類物質的種類雖然沒有烴類多,但其所占的比重最高,其次為烴類、醇類、芳香族化合物和酮類,而酸類、醚類及雜環(huán)類化合物在揮發(fā)性物質中所占的種類較少且含量也較低。經(jīng)過對生肉樣和熟肉樣的揮發(fā)性物質的檢測分析得出在相同的成熟時間點處,八類揮發(fā)性化合物的種類和相對含量存在顯著差異,且在不同成熟時間點處,揮發(fā)性化合物的種類和相對含量也存在明顯差異。羊肉經(jīng)加水煮熟后其揮發(fā)性風味物質的種類和相對含量均發(fā)生了一定程度的變化,其揮發(fā)性風味物質的種類呈現(xiàn)出增加的趨勢,且大多數(shù)揮發(fā)性風味物質的相對含量都高于生肉樣。在羊肉中含量較高的揮發(fā)性物質有癸烷、2甲基十一烷、十二烷、十三烷、十六烷、己醛、庚醛、辛醛、壬醛、順2庚烯醛、反2辛烯醛、十六醛、十八醛、十二醇、十九醇、2,6二叔丁基對甲酚、2,3辛二酮、香葉基丙酮、2戊基呋喃、吡啶等。4隨著宰后成熟時間的增加,羊肉肌原纖維蛋白的溶解度、乳化活性指數(shù)和乳化穩(wěn)定性、起泡性均呈先下降后上升的趨勢,且在宰后24H達到最小值泡沫穩(wěn)定性、表面疏水性、凝膠硬度和彈性及凝膠蒸煮損失均呈先增加后下降的變化趨勢,且在宰后24H達到最大值。羊肉宰后成熟過程中MP的G和G都呈現(xiàn)出高低高的變化趨勢。在85℃時,羊肉中MP的G在24H時最大,這和前面所測的最大凝膠強度的成熟時間點一致。5從各指標的變化情況得出羊肉在4℃下適宜成熟時間為72H,因此從多種因素綜合考慮得出整個胴體的最佳成熟時間為72H,此時肉品的嫩度、保水性、風味及蛋白質的功能性質較好,適于加工。6貯藏到16D時,氣調(diào)包裝組的感官品質明顯優(yōu)于真空包裝組整個貯藏期,兩組試樣的PH值都低于66,即符合標準中對山羊肉PH值的要求保藏的前16D,氣調(diào)包裝組的A值高于真空包裝組,表明氣調(diào)包裝較好的保持了羊肉的自然色澤保藏到16D時,真空包裝組的菌落總數(shù)為612,已超標,而氣調(diào)包裝組的試樣屬于次鮮肉保藏20D,氣調(diào)包裝組的TVBN值仍不超標,而真空包裝組的TVBN值為2148,已超標。采用氣調(diào)包裝65%O220%CO215%N2比真空包裝好,能使山羊肉保藏1620D。
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    • 簡介:1984年,東芝公司發(fā)明人FUJIOMASUOKA提出了快速閃存存儲器這一概念。1988年INTEL首先開發(fā)出NFLASH技術后,閃存存儲器其具有功耗低,讀寫快,容量大,成本低等優(yōu)點,使得N和N成為了目前市場上兩種主要的閃存產(chǎn)品,被廣泛應用于各種嵌入式系統(tǒng)。隨著消費者對產(chǎn)品的尺寸的要求越來越高,功能越來越強,越來越多,由此對加快提升芯片整合技術的能力,用來提高產(chǎn)品性價比成了目前制造業(yè)的主要任務和挑戰(zhàn)。同時也帶動了浮柵結構的非易失性存儲器NFLASH記憶體芯片的迅速成長。一直以來,半導體集成電路的發(fā)展都遵循著著名的MOE定律。即硅芯片集成的晶體管數(shù)目,每過18個月就會翻一倍。微電子器件尺寸都按比例在縮小,它帶動了整個電子裝備向小型化的方向發(fā)展。目前,業(yè)界對非易失性半導體存儲器研發(fā)趨勢主要是集中在兩個方面,一方面是,研發(fā)應用新機理、新材料和新結構的全新存儲技術另一方面是,繼續(xù)研發(fā)和改進發(fā)展主流的FLASH存儲技術,盡可能的向更小節(jié)點推進。NFLASH現(xiàn)在技術已經(jīng)開始進入了45NMNFLASH的技術節(jié)點時代了,65NMNFLASH大規(guī)模量產(chǎn)成為了現(xiàn)在市場的迫切需求。對制造行業(yè)來說要實現(xiàn)量產(chǎn)有很多的挑戰(zhàn),需要不斷提升工藝的潛能來達到最大化的良率。本課題選擇了65NMNFLASH技術,進行了整合工藝的研究。本論文共分五章,首先大體上介紹存儲器的發(fā)展和現(xiàn)狀,然后對NFLASH的基本結構和工作原理以及NFLASH在生產(chǎn)工藝過程中遇到的問題理論分析接著通過對65NMNFLASH在工藝整合過程中實際遇到的問題進行分析,找到問題的源頭然后通過一些工藝上的調(diào)整和改進使產(chǎn)品無論在良率,質量和可靠性上都得以提高,實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)最后是結論和對未來的存儲器的展望。
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    • 簡介:深層QPQ技術是一項由氮化和氧化工序所組成的復合工藝技術,其核心是氮化工藝,它是由普通QPQ技術改進而成。由于深層QPQ技術能更好地提高工件的耐磨性、耐蝕性以及抗疲勞性能,這將使得深層QPQ技術具有更加廣泛的應用前景。因此對深層QPQ技術的氮化工藝進行研究,改善氮化工藝,提高深層QPQ技術的滲層質量具有深遠的意義。本論文采用深層QPQ技術不同氮化工藝,針對45鋼、35CRMO鋼和316L不銹鋼進行試驗研究,對于不同氮化工藝對工件形成滲層的影響規(guī)律進行了檢測研究,分別對各個試樣的滲層厚度、硬度以及滲層元素成分進行了檢測,并用光學顯微鏡、電子掃描電鏡和X射線衍射儀觀察并分析了試樣最終形成的滲層形貌以及組織。通過上述試驗,獲得了深層QPQ技術中不同氮化工藝對于不同材料滲層形成及厚度變化的影響規(guī)律。發(fā)現(xiàn)了兩個溫度段的氮化工藝將對滲層質量的改善具有一定的促進作用,同時兩個溫度段的氮化工藝將會提高工件的表面硬度以及改善整體滲層硬度,而不同的氮化工藝不會對滲層中的物相組成產(chǎn)生影響,但是會對滲層中氮元素的含量產(chǎn)生影響,從而影響到滲層中各個物相的含量。并獲得了深層QPQ技術中的優(yōu)化的氮化工藝參數(shù)為480℃氮化1小時后再進行1小時的630℃氮化。
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    • 簡介:感應加熱彎管是管道中不可缺少的構件之一,感應加熱彎管制造技術是目前國內(nèi)外制造小曲率半徑彎管最先進、最經(jīng)濟、成型質量最好的技術。在感應加熱彎管制造過程中,影響其質量性能的因素很多,母管化學成分設計、感應加熱工藝參數(shù)的合理控制是感應加熱彎管制造技術的重點和難點。本文依托西氣東輸三線等管道工程,以X80感應加熱彎管為研究對象,選用不同企業(yè)生產(chǎn)的感應加熱彎管用鋼管,通過理化性能和熱模擬等試驗分析,研究了化學成分、機械性能、金相組織及再加熱對鋼管的影響,合理確定了X80感應加熱彎管用鋼管的化學成分、金相組織和機械性能等指標。在西氣東輸和中亞管道感應加熱彎管制造經(jīng)驗的基礎上,利用管道局機械廠大型感應加熱彎管機,確定了合理的X80感應加熱彎管制造工藝參數(shù),通過加工試制,成功開發(fā)出了X80感應加熱彎管。檢驗結果表明所開發(fā)X80感應加熱彎管各項理化性能指標和結構尺寸均滿足現(xiàn)有技術標準要求,選用鋼管壁厚度比相同外徑彎管降低了10%~15%,加熱輸出功率、設備的推力相應減少,用電量大大減少,節(jié)約制造成本。解決了X80感應加熱彎管用鋼管的選擇和感應加熱工藝等關鍵技術問題,確保了西氣東輸二線、三線和其它管道工程的順利實施。
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    • 簡介:復雜曲面多軸數(shù)控加工技術是曲面加工發(fā)展的必然趨勢,也是衡量一個國家裝備制造能力的標準之一。增壓器葉輪是典型的復雜曲面零件,其多軸聯(lián)動高效加工技術的研究對我國成為制造強國,以及國防和能源動力能力的提升有重大戰(zhàn)略意義。本文圍繞增壓器葉輪多軸聯(lián)動高效加工工藝,針對實際多軸加工存在的主要問題,從葉輪曲面造型優(yōu)化、多軸工藝規(guī)劃、五軸加工軌跡規(guī)劃及葉輪加工檢測多方面進行理論研究,并回歸實踐,提出完整的葉輪多軸加工高效解決方案。在研究了CADCAM技術關聯(lián)性的基礎上,對葉片型面進行了三次樣條曲線矩形區(qū)域參數(shù)優(yōu)化擬合,重構了葉輪參數(shù)化幾何模型,定義了CAM編程中葉片型面質量評估指標,獲得了光順性較高的葉輪設計模型。針對增加葉輪多軸加工效率問題,建模分析了葉輪結構特點,采用了兩種五軸高效粗加工方法,結合試切加工缺陷,設計并優(yōu)化了葉輪粗精加工工藝方法,完成其總體多軸工藝的設計。葉輪五軸聯(lián)動加工過程中誤差源較多,本文分別對5種關鍵誤差進行建模分析,并針對性提出了實際有效的補償辦法。特別針對非線性誤差問題,推導研究了RTCP的算法原理,通過開發(fā)特殊后置處理器,實現(xiàn)了葉輪五軸RTCP編程。結合試切實驗,研究了多軸工藝參數(shù)對葉輪加工質量和效率的影響關系,給出了參數(shù)優(yōu)化選擇標準,規(guī)劃了高效加工軌跡,并實現(xiàn)了軌跡仿真和優(yōu)化。最后,在此研究基礎上,成功實現(xiàn)了葉輪五軸聯(lián)動高效加工,并通過三坐標測量機對加工結果進行了檢測和評估,證明了本文所設計的工藝處理方法及編程技術是可行、高效的。
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    • 簡介:碳化硅陶瓷具有硬度高、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化性能強、抗熱震性佳、熱穩(wěn)定性強、熱膨脹系數(shù)低以及導熱系數(shù)高等優(yōu)點,一直是材料學研究熱點之一。本文在前人研究基礎上,以生產(chǎn)高性能ΒΑ復合碳化硅技術陶瓷為目標,通過素坯密度研究,優(yōu)化并確定最佳配方采用03ΜM的ΑSIC,固含量為50%,水溶性酚醛樹脂的添加量為9,在相同成型工藝下素坯密度最大,最有利于燒結致密化。通過成型工藝的優(yōu)化研究,得出造粒粉的篩分時間為20MIN時,篩分效率最佳;壓力100MPA,保壓60S時,成型效率最好。當粒徑比為D大D中D?。?6ΜM80ΜM23ΜM)431,質量比為M大M中M小1771時,素坯密度達最大值1748GCM3。通過對試樣體積密度、抗彎強度、維氏硬度、斷裂韌性、顯微結構和相結構測試與表征,優(yōu)化并確定了最佳無壓燒結工藝,即燒結溫度為2010℃,保溫時間為75MIN時,燒結后的ΒΑ復合碳化硅陶瓷具有最優(yōu)性能,其密度最大值為3129GCM3,硬度為2735GPA,斷裂韌性為464MPAM12,抗折強度為40162MPA。加入的ΒSIC在燒結后出現(xiàn)了長軸狀晶體,使得斷裂方式由原先的穿晶斷裂變?yōu)橐源┚嗔褳橹鞯臄嗔逊绞?。研究結果表明,ΒSIC的添加量為10時,碳化硅陶瓷具有最佳性能。本文也對注漿成型工藝進行了初步探索性研究,采用注漿成型的工藝,按照合適的烘干曲線進行烘干后,通過合適的燒結工藝制備成碳化硅陶瓷。
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