釘頭凸點-Sn基釬料接頭成形及界面反應機制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著電子產品向高集成度、大功率和小體積的方向發(fā)展,倒裝芯片技術受到極大的關注,無鉛化的提出使無鉛釬料成為研究熱點,但無鉛釬料有潤濕性差、抗電遷移能力差等缺陷。釘頭凸點倒裝芯片技術以其高可靠性、無鉛化和適合小體積封裝等特點可解決這一問題。目前最常用的凸點材料是Au,AuSn4往往被認為是混合接頭失效的主要原因?;诖耍到y地研究了工藝對Au釘頭凸點成形及性能的影響,不同Au與Sn的含量對混合接頭成形、組織及性能的影響,并分析AuSn4對混

2、合接頭可靠性的影響這三個方面。
  試驗結果表明,當超聲功率為2,壓力為2,溫度為150℃時可得到鍵合質量良好的Au釘頭凸點,直徑為105μm,高為65μm,剪切強度達76gf。采用120μm、150μm和180μm孔徑鋼網涂覆釬料,控制混合接頭中Au與Sn0.7Cu的相對含量。混合接頭中金屬間化合物種類相同:AuSn、AuSn2、AuSn4、(Au,Cu)Sn4和(Cu,Au)6Sn5。AuSn4形貌和金屬間化合物含量不同:較大

3、尺寸接頭中棒狀AuSn4較為細長,較大尺寸接頭中金屬間化合物較多。AuSn4的形貌和含量是影響混合接頭性能的主要因素。150℃老化過程,AuSn4為降低表面能而粗化。接頭剪切強度均變低,180μm混合接頭與純Sn0.7Cu接頭有相當的剪切強度。較大尺寸接頭與純Sn0.7Cu接頭的熱循環(huán)壽命達500周。較小尺寸的接頭中金屬間化合物較多,抗電遷移能力較強。
  植球時,超聲和壓力的配合使Au引線和Cu焊盤產生有效摩擦,超聲軟化作用促進

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