基于LIGA-like工藝的柔性MEMS微電極加工技術研究.pdf

1、隨著近二十年來微電子機械系統（MEMS）技術研究的不斷發(fā)展，逐漸產生了一個新的分支領域——Bio-MEMS。隨著人類對自身的生命健康越來越關注，生物醫(yī)療領域MEMS器件（Bio-MEMS）的應用也逐漸成為近年來微/納米工程領域的研究熱點，特別是對生物假體（可植入的藥物傳輸系統、神經刺激器及骨骼生長刺激器）的應用。在這些假體當中，Bio-MEMS器件用于神經接口的信號記錄和活性刺激，為神經專業(yè)開辟了很大的機會，建立了中樞神經及外圍神經系統

2、的人機交換界面。因此，作為神經系統的關鍵環(huán)節(jié)，微電極陣列的研究已經成為目前的研究熱點之一。一個新的問題也隨之出現，就是可以使用可植入的微電極去刺激人的胃迷走神經來幫助那些具有飲食困難的人。
　　本文圍繞植入式柔性微電極設計及其工藝制備過程展開研究，主要通過SU-8斜曝光技術、LIGA-like工藝、磁控濺射、圖形轉移制備基于PDMS薄膜的柔性生物微電極?；谏镝t(yī)學和臨床的考慮，首先是從較細的老鼠胃神經（0.08mm）著手，對植入

3、式微電極的結構進行設計。根據加工工藝所用到的材料及設備等方面進行選擇和優(yōu)化設計，確定工藝制作流程，制備柔性微電極。同時，對電極制備過程中的相關工藝如斜曝光技術、PDMS倒模工藝、PDMS薄膜的氧等離子體處理進行了研究。然后對工藝技術的細節(jié)做了討論和研究，并對濺射有銀的PDMS表面進行了應變電阻進行了測試研究。最后通過這次的研究提出了有關微電極的神經刺激器改進方案和發(fā)展前景。
　　所制備的微電極陣列為1×2，通道間距為240μm，通