基于電容傳感器的微小孔徑測量系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著當代科技和制造水平的飛速發(fā)展，微小孔器件被廣泛應用于諸多工業(yè)領域，對其加工和檢測精度的要求也越來越高。孔徑是孔特征中最重要的幾何要素，孔徑檢測是判斷孔質量是否合格的主要手段。微小孔器件的孔徑一般對所屬產品的功能實現(xiàn)有很大影響，由于測量空間的限制，微小孔孔徑的檢測難度較大。因此，微小孔徑的高精度測量是當前國內外幾何量精密測量領域的重要研究方向。
　　論文在綜述現(xiàn)有國內外關于微小孔徑測量方法的基礎上，結合測量的實際需要，提出一種接

2、觸式測量方法——基于電容傳感器的微小孔徑測量方法，主要研究工作包括：
　?。?）提出一種基于電容傳感器的微小孔徑檢測方法，該方法以電容傳感測頭為核心測量元件，借助長度量計量儀器實現(xiàn)對微小孔徑的測量。闡述了測頭的工作原理，確定了測桿的側向位移量與電容值變化量之間的關系，并分析了測頭的檢測靈敏度。
　?。?）建立了測頭的力學模型，得到測頭中測桿側向位移值的解析表達式。建立了測頭有限元模型并用ANSYS Workbench對測頭主