二自由度大行程微定位平臺設計與運動控制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微定位平臺是微/納加工與裝備測試的核心功能組件。本文以設計大行程、高分辨率微定位平臺為目標，以柔度矩陣法、拉格朗日方程、有限元分析等系統(tǒng)地研究了微定位平臺結構剛度、固有頻率以及運動特性等關鍵問題，并加工出樣機進行實驗測試。主要工作成果如下:
　　設計一種以音圈電機驅動柔性鉸鏈機構的二自由度微定位平臺。微定位平臺由上、下平臺通過螺栓連接而成，具有行程大、承載能力強、完全解耦等優(yōu)點。
　　對微定位平臺進行簡化處理，用柔度矩陣法、

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