紫外LED光刻光學系統(tǒng)的設計與研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、投影照明系統(tǒng)和投影光刻成像系統(tǒng)是紫外LED光刻投影光刻光學系統(tǒng)的重要組成部分，本文根據(jù)工程需要分別對這兩個部分加以設計和研究。
　　照明系統(tǒng)是投影光刻機的關鍵部件，要求具有良好的照明均勻性，其性能直接影響到光刻的質量。對目前的照明系統(tǒng)來說，一般采用白熾燈、熒光燈或者HID、準分子激光器、半導體激光器作為光刻光源，此類光源有的不夠節(jié)能，有的不夠環(huán)保，有的價格昂貴，另外它們體積都比較大，難于實現(xiàn)光刻機照明系統(tǒng)的小型化。
　　新一

2、代照明光源紫外LED不僅具有高光效、低能耗、長壽命，而且性能穩(wěn)定、安全性好等優(yōu)點。相比于其他傳統(tǒng)光源，紫外LED厘米量級的光源尺寸使其成為小型照明系統(tǒng)的理想光源。采用自由曲面光學器件對紫外LED進行二次光學設計，實現(xiàn)小型高效的紫外LED照明系統(tǒng)，而且能夠降低其生產(chǎn)成本。本文根據(jù)實際工程需要利用非成像光學軟件tracepro設計出一個小體積的非球面鏡，形成12mm*12mm的方形均勻光斑的照明面，實現(xiàn)了光刻照明系統(tǒng)的小型化。
　　另

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