BiCMOS工藝中的間隙壁層線寬均勻度的研究.pdf

1、在光刻工藝中產(chǎn)品的BiCMOS線寬均勻度問題一直是各個(gè)半導(dǎo)體公司遇到的嚴(yán)重問題，線寬均勻度差不但對(duì)當(dāng)層的蝕刻工藝有很大影響，對(duì)整個(gè)芯片的良率和電性參數(shù)有很大影響。本文研究了光刻中BiCMOS間隙壁層線寬均勻度的控制問題，針對(duì)間隙壁層在生產(chǎn)中出現(xiàn)嚴(yán)重的線寬均勻度差問題進(jìn)行了深入的研究和優(yōu)化。找到了解決這一難題的方法并有效實(shí)現(xiàn)了研究的目的，達(dá)到了預(yù)期的效果。
　　 線寬均勻度是指線寬在整片芯片內(nèi)或芯片間的測(cè)量值的平均分布，藉以表示芯

2、片內(nèi)各測(cè)量點(diǎn)的數(shù)值或是芯片與芯片間其測(cè)量值的變化。其表示方法如下：如測(cè)量芯片內(nèi)上中下左右與5點(diǎn)線寬數(shù)據(jù)，5點(diǎn)平均值X=(X1+X2+X3+X4+X5)/5，均勻度Uniformity=(X max-X min)/2X×100％。均勻度越小，表示各點(diǎn)變化越小。亦即表示芯片制程品質(zhì)較佳，也是制程能力越好的表現(xiàn)。若在光刻工藝中出現(xiàn)線寬均勻度差，需要對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行一次甚至多次重做，這樣使得成本提高。而且影響產(chǎn)品良率，產(chǎn)品出現(xiàn)缺陷，這樣產(chǎn)品就要報(bào)廢，