MOCVD系統(tǒng)在GaAs太陽電池中的應用研究.pdf_第1頁
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1、MOCVD系統(tǒng)在系統(tǒng)在GaAs太陽電池中太陽電池中的應用研究的應用研究ResearchonMOCVDSystemInGaAsSolarCellApplication領域：集成電路工程研究生：高偉指導教師：張平企業(yè)導師：王保民天津大學電信學院二零一三年三月摘要摘要本文針對MOCVD系統(tǒng)在生產(chǎn)GaAs太陽電池過程中影響太陽電池性能的一些問題，研究解決技術途徑并加以實施驗證。在保證MOCVD系統(tǒng)正常運轉前提下研究提高三結太陽電池光電轉換效率的

2、技術途徑。具體內(nèi)容如下：MOCVD系統(tǒng)是一個很復雜的有機整體，由MOCVD設備和多個配套設備構成。本文研究了每個組成部分的工作機理與用途，MOCVD系統(tǒng)在應用研究過程中會出現(xiàn)外延片表面落塵、生長溫度漂移、外延層組分不穩(wěn)定、襯底的處理、反應室氣密性、備件清洗等問題，這些問題都會影響GaAs太陽電池生長質量。研究制定了提高三結GaAs太陽電池光電轉換效率的技術途徑，針對三結電池中的三個子電池，研究優(yōu)化各個參數(shù)，進而提高太陽電池的整體電流，使

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