基于表面等離激元的一種新型射流發(fā)生器的研究.pdf

1、近年來，微波等離子體技術(shù)在工業(yè)和農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域得到了越來越多的應用，吸引了學者們廣泛的關(guān)注。除傳統(tǒng)的材料改性、等離子體炬、醫(yī)療滅菌等應用外，微波等離子體技術(shù)還可以用于內(nèi)燃機點火、生物質(zhì)熱解、種子催化等新興領(lǐng)域。
　　本文旨在報道一種新型的微波誘導等離子體射流發(fā)生器，能夠在不同的氣壓下產(chǎn)生強烈而高效的射流放電。通過研究駐波理論與表面等離激元共振機理，設計了一種新型的天線結(jié)構(gòu)。在大氣環(huán)境中，100 W的微波能夠激勵產(chǎn)生半徑為5 mm的空氣

2、等離子體球。在20 W的功率下實現(xiàn)了低氣壓下的輝光放電，產(chǎn)生了長達30 cm長的氬等離子體射流，并探討了輝光放電等離子體對金屬導體、絕緣體的清洗效果。
　　優(yōu)化中心波導處的天線，采用對稱的折疊銅絲結(jié)構(gòu)，進一步提高了發(fā)生器的電能效率。在50 W的微波功率下，產(chǎn)生了長達2.4 cm的強烈射流，該氬等離子體射流是由兩根相互纏繞的射流組成的。
　　本文還實現(xiàn)了四管陣列的氬氣放電，當入射功率達到120W時，放電管內(nèi)能夠生成4根平均長度