7A04鋁合金等離子體浸沒離子注入與沉積改性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、純鋁及其合金密度小,比強度高,塑性好,可加工成各種型材,廣泛應用于航空航天領域。但純鋁及其合金的硬度低、耐磨性差,在很大程度上限制了鋁合金的應用。本論文采用等離子體離子浸沒注入與沉積技術,對7A04超硬鋁合金進行氮化處理和類金剛石(DLC)薄膜沉積。在低壓高頻氮化試驗中,著重研究了氣壓對氮化改性層機械性能的影響,并對高壓低頻氮化進行了探索；在高壓低頻DLC薄膜制備試驗中,對不同氣壓及不同過渡層類型對DLC薄膜結構性能的影響進行了重點討論

2、,并對低壓高頻沉積DLC薄膜進行了初步的討論。
　　 利用X射線光電子能譜(XPS)對氮化層的結構、成分進行分析；利用激光拉曼光譜(Raman)測定了類金剛薄膜的結構,使用維氏壓痕法和劃痕法評價了膜基結合強度,利用基片曲率法(Curvature method)測量薄膜內部的殘余應力。采用銷盤式摩擦磨損試驗對兩種改性層的摩擦磨損性能進行評價,利用維氏顯微硬度計(HXD-1000TM)檢測樣品顯微硬度,采用電化學腐蝕實驗檢測改性層的

3、耐腐蝕性能。
　　 研究結果表明采用低壓高頻等離子體浸沒離子注入在7A04鋁合金表面制備出結構致密,耐腐蝕性和耐磨性能優(yōu)良的氮化物改性層。氣壓影響氮化改性層的機械性能,當氣壓為0.2Pa時改性效果最好,氮化改性后樣品硬度均低于鋁合金基體；經氮注入及人工時效復合處理后,硬度、耐磨損性能大幅度提高。經高壓低頻注氮與人工時效復合處理的樣品,改性效果最好。
　　 利用等離子體離子浸沒注入與沉積設備,采用高壓低頻注入與沉積模式,在

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