基于節(jié)點法的可靠性模擬工具的研究.pdf

1、隨著MEMS技術的蓬勃發(fā)展，MEMS產品已經廣泛的進入了人們的生活，在通信、汽車、消費電子、生物醫(yī)療、國防等各大領域都有應用。與此同時，MEMS的可靠性問題也越來越突出，業(yè)已成為制約MEMS產業(yè)進一步穩(wěn)定發(fā)展的重要因素。因為MEMS系統(tǒng)本身的復雜性，可靠性設計要求在產品設計之初就將可靠性因素考慮進去，以便縮短產品研發(fā)周期，降低產品成本。這種系統(tǒng)化的方法，在產品從開發(fā)到制成的整個過程中，涉及到眾多方面的工作，其中十分關鍵的一項就是針對ME

2、MS器件進行可靠性建模，并利用一定的方法進行模擬仿真，以達到能夠從系統(tǒng)層面上評估MEMS系統(tǒng)各方面可靠性的目的。本文在這一過程中引入計算機輔助分析，開發(fā)了基于節(jié)點分析法的針對MEMS器件可靠性建模與仿真的輔助分析軟件。
　　 該軟件以節(jié)點分析法為基礎，從MEMS器件的結構出發(fā)，對MEMS器件進行拆分，通過網表的提取達到可進行等效電路仿真的目的，使該軟件具備IC設計的一致描述性和一致性仿真。并且根據MEMS可靠性相關研究理論，對M

3、EMS器件中的常用結構--沖擊下懸臂梁斷裂的可靠性問題進行分析，從而評估系統(tǒng)的可靠性。論文圍繞主要工作首先構建了軟件架構，建立了框架管理系統(tǒng)，進而實現(xiàn)各功能模塊的封裝和管理。論文分兩章著重介紹了該軟件的兩個模塊：節(jié)點分析模塊和可靠性分析模塊。
　　 論文以Visual C++為主要開發(fā)工具，進行了用戶圖形界面與主框架的設計；提出參數法獲得初始網表的想法并加以實現(xiàn)：開發(fā)拓撲圖生成連接關系這一輔助模塊，以期用戶能夠更好地理解節(jié)點法思