雙層結(jié)構(gòu)紅外焦平面陣列的設(shè)計(jì)與制備.pdf

1、微測(cè)輻射熱計(jì)型非制冷紅外探測(cè)器由于其便攜性好、成本低和卓越的性能等優(yōu)點(diǎn)，近年來(lái)成為紅外探測(cè)器研究中的熱點(diǎn)。然而，傳統(tǒng)單犧牲層器件填充率的提高和器件的熱學(xué)性能的提升有所沖突，影響了器件性能的提升。雙犧牲層微測(cè)輻射熱計(jì)是一種改進(jìn)型結(jié)構(gòu)，它可以改善這種沖突，更好地實(shí)現(xiàn)器件小型化大陣列器件的需要。
　　本文針對(duì)雙犧牲層微測(cè)輻射熱計(jì)進(jìn)行研究，通過(guò)Intellisuite軟件對(duì)雙犧牲層紅外焦平面陣列進(jìn)行了設(shè)計(jì)及力學(xué)仿真。確定了器件制備工藝流程

2、，并繪制了工藝過(guò)程中各項(xiàng)版圖。分析了不同結(jié)構(gòu)、不同工藝參數(shù)對(duì)器件力學(xué)性能的影響，分別就“傘”狀結(jié)構(gòu)、“奇點(diǎn)”和改進(jìn)型“傘”狀結(jié)構(gòu)的引入，橋面厚度、橋腿寬度和薄膜殘余應(yīng)力的改變進(jìn)行了仿真。
　　論文探索了犧牲層的制備工藝，得到了一個(gè)較優(yōu)的工藝參數(shù)，包括聚酰亞胺厚度、亞胺化條件和釋放工藝。制備了結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化的雙犧牲層支撐結(jié)構(gòu)陣列，該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化了其它材料而僅僅包含了氮化硅的支撐。制備了結(jié)構(gòu)完整的單犧牲層和雙犧牲層紅外焦平面陣列。
　　對(duì)