太陽能電池氮化硅薄膜制備與鈍化研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、太陽能電池能將太陽光能轉換為電能，制作流程主要包括制絨、PN結擴散、等離子刻蝕、PSG清洗、PECVD鍍膜、絲網(wǎng)印刷電極和燒結等步驟，其中PECVD鍍膜步驟擔負著光學減反和電學鈍化的任務，對太陽能電池的電性能起著至關重要的作用。
　　本論文主要針對PECVD鍍氮化硅薄膜及其相關鈍化技術進行研究，主要內(nèi)容為：
　　首先研究了常規(guī)氮化硅鍍膜工藝中，鍍膜溫度、鍍膜壓力、鍍膜功率和硅烷氨氣流量比對氮化硅膜的折射率以及鍍膜后硅片少子壽

2、命的影響，這些工藝參數(shù)的研究，為后續(xù)的鍍膜和鈍化新技術的研究奠定了基礎；
　　然后研究了一種以等離子態(tài)的氨氣為氣氛的氫鈍化技術，對鍍膜前鈍化、鍍膜后和其它鈍化參數(shù)進行實驗對比，提升了硅片的少子壽命和短路電流等參數(shù)，并提升電池轉換效率0.16％；
　　最后進行了疊層鍍膜工藝的研究，先研究了雙層氮化硅薄膜技術，降低電池反射率同時使得鈍化效果也一定提升，效率提升0.13%，然后進行了三層膜技術研究，相比雙層膜鈍化效果類似，但取得了

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