基于BST鐵電薄膜的微帶型微波調諧器件研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、基于BST鐵電薄膜介電調諧概念的微帶型微波調諧器件,有望在未來微波集成電路(MIC)和軍用通訊中得到重要應用而得到國際上研究重視.該文從微波測試、材料研究、器件設計以及器件制備四個方面進行研究.采用AGILENT的網絡分析儀器和CASCADE的微波芯片原位測試系統(tǒng),構建了材料與器件的微波性能測試系統(tǒng).研究了共平面電容結構的電磁結構與等效測試電路,給出了薄膜材料的微波測試結果.在(100)單晶MgO、LaAlO<,3>單晶基片上用PLD工

2、藝沉積制備了高調諧率、低損耗外延BST薄膜.采用XRD、SEM等手段表征薄膜的外延特性和基本結構特征,研究了不同Ba/Sr組分、基片溫度、沉積氧壓(P<,o2>)、薄膜厚度、不同基片等對薄膜外延結構與電性能的影響規(guī)律.著重探討了Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>/LaAlO<,3>外延結構重沉積氧壓對薄膜微結構和電性能的影響作用機制,并且指出其外延性能和晶格畸變之間的矛盾特性.參考美國NASA的年度報告中公開的器件設計圖,采

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