低壓永磁同步電機驅動器設計與研制.pdf

1、真空機械手負責在集束型整機設備各個工藝腔室之間傳輸晶圓，是集束型設備的核心部件之一。真空機械手采用低壓大間隙直驅電機驅動，對驅動器的接口和性能有特殊的要求，普通商用驅動單元難以滿足其要求。自行設計高性能的電機驅動器對真空機械手的運行平穩(wěn)性和可靠性具有重要的意義。本文以低壓大間隙直驅電機為控制對象，針對其驅動特點，設計了一款低壓永磁同步電機的伺服驅動器。首先建立了永磁同步電機的數(shù)學模型，以直軸電流id=0為控制策略、SVPWM矢量控制為驅

2、動方式確立了驅動器系統(tǒng)的總體方案。其次以高性能數(shù)字控制器DSP為核心，實現(xiàn)了多路開關電源模塊、三相逆變器模塊、線電流檢測模塊、轉子位置檢測模塊、通訊模塊等硬件電路設計，驅動器同時具有防浪涌啟動電路、過壓過流保護和泄放電路等保護電路。驅動器軟件實現(xiàn)上，采用模塊化的設計方法，編寫通訊程序、轉子位置檢測程序、轉子位置初始化程序、PID調節(jié)器程序、SVPWM矢量控制程序等功能模塊，實現(xiàn)電流環(huán)內(nèi)環(huán)，速度環(huán)外環(huán)的雙閉環(huán)矢量控制系統(tǒng)?；谙到y(tǒng)總體方案