激光微熔覆集成制造氣敏傳感器的研究.pdf

1、本文采用激光微熔覆和微筆直寫工藝，將加熱電阻、測溫電阻、測量電極和敏感膜集成在一起，快速制備了膜片型氣敏傳感器。
　　 傳感器采用雙面結構設計，基片選用5mm×5mm×0.6mm的96%氧化鋁陶瓷。SnO2氣敏漿料采用在乙醇中分散再濃縮的方法配制。傳感器制作過程如下：首先采用激光微熔覆在基片正面制作叉指電極；接著用微筆直寫工藝在基片背面直寫電熱電阻和電極，經激光處理，清洗后就可獲得加熱器；然后用微筆直寫工藝在基片正面電極層上制備

2、氣敏膜，最后采用TO-6管封裝就可制得微氣敏傳感器。設計并搭建的氣敏測試系統(tǒng)由測試箱、注氣裝置、供電裝置和數據采集裝置組成。
　　 實驗表明，激光功率的大小對SnO2氣敏膜的微觀結構和氣敏性能有重要的影響。激光微熔覆制備的氣敏膜在工作溫度250℃下對2000ppm酒精蒸汽的響應度最大，為8.6，其響應時間和恢復時間分別為7s和20s；而傳統(tǒng)燒結的氣敏膜響應度為7.4，響應時間和恢復時間分別為10s和25s。由此可見，激光微熔覆和