電磁驅動電容式振動微機械陀螺接口電路研究.pdf

1、微機械陀螺由于使用了MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術作為加工手段,使得其體積、成本等相對于傳統(tǒng)的陀螺儀有很大的下降,同時,其加工手段有可能與集成電路工藝兼容,從而有望在汽車工業(yè)、航空航天等領域有廣泛的應用.該論文主要針對電磁驅動電容檢測的振動式微機械陀螺,對其接口電路的相關理論和實現進行了研究.首先,根據振動式微機械陀螺的工作原理,建立了動力學模型,并對動力學方程求解,在此基礎上,得出對接口電路有用的結論;對電磁驅動和電容檢測作了概述;建

2、立了陀螺器件等效的電學模型,借助電學模型,可以動態(tài)地觀察陀螺器件的特性,并為接口電路與陀螺器件的混合仿真提供方便.然后,詳細研究了電磁驅動的相關理論和實現.對強迫振動和自激振蕩這兩種驅動方式作了研究,重點放在自激振蕩驅動上.對自激振蕩理論和實現進行了研究,設計了電路,并對各個模塊仿真驗證,在此基礎上制作了電路板,調試電路,實現了自激振蕩驅動,并就改進工作提出建議.接著,對檢測電路進行了研究.對一種C—V變換ASIC的各個功能模塊進行分析