pn結材料輻射損傷噪聲靈敏表征方法研究.pdf

1、pn結是雙極型器件的基本結構，這種結構的抗輻射能力將直接影響雙極型器件在輻射環(huán)境中的可靠性。因此迫切需要對pn結材料輻射損傷效應進行深入研究，并提出一種表征技術用以評價雙極型器件的抗輻射能力。噪聲與材料及器件的內(nèi)部缺陷密切相關，使用噪聲有望能夠?qū)崿F(xiàn)對雙極型材料輻射損傷的表征，進而發(fā)展成為雙極型器件無損評估的工具。 本論文深入研究了pn結材料的輻射損傷機制及噪聲產(chǎn)生機制，發(fā)現(xiàn)雙極型器件經(jīng)γ總劑量輻射后，表面損傷和體損傷均存在，并以

2、表面損傷為主。根據(jù)材料與器件相結合的輻射效應研究方法，分析比較了pn結材料的易損部位，提出測試結構的設計原理，完成了不同結構輻射易損測試結構的設計。針對實驗樣品設計了輻照實驗，測量輻照前后電學參量和噪聲參量，驗證了設計樣品的正確性和抗輻射性能；對比電學參量和噪聲參量的實驗結果，優(yōu)選出噪聲靈敏表征參量?；趐n結器件l/f噪聲模型，引入輻射損傷機制，建立了材料輻射損傷的噪聲表征模型。以噪聲表征模型為基礎，初步提出pn結材料的輻射損傷噪聲靈