微細陣列軸孔的電火花和電化學加工工藝研究.pdf

1、隨著微細加工和納米科學與技術的發(fā)展,以形狀尺寸小、操作尺寸小為特征的微機械已成為人們在微觀領域認識世界和改造客觀世界的一種高新技術。在航空航天、電子、光導纖維以及辦公自動化設備、圖像顯示器、醫(yī)療器械、液壓元件等工業(yè)領域中,以陣列微小型孔為關鍵結構的零部件的使用越來越頻繁,孔徑尺寸越來越小,精度要求越來越高,例如光纖連接器、化纖噴絲板、電子顯微鏡光柵、打印機噴墨孔陣列,以及微噴嘴、微泵中的陣列孔微細結構等?？梢?先進工業(yè)技術和前沿學科的發(fā)

2、展迫切需要微細陣列孔加工技術的支持。國外發(fā)達國家已經在這個領域投入了大量的資金和人力,取得了很好的成果,而在國內,這方面的研究非常的少,技術相對落后,特別是在陣列孔加工方面,基本上是處于空白階段。因此,展開這個領域的研究具有極其重要的戰(zhàn)略意義和很好的應用前景。本文主要對微細陣列軸孔的電火花和微細電化學加工工藝進行了分析和研究。首先設計了兩種微細陣列電極的制作工藝方法：線切割法和反拷貝法。分別用這兩種工藝方法加工出3×3至10×10系列微

3、細陣列電極,大小在20μm~90μm,在此過程中反拷貝法采用降低開路電壓、電容的方法,而線切割法采取降低開路電壓、加工電流、進給速度和減小工作液沖擊等方法,獲得了質量較好的微細陣列電極。然后用該系列陣列電極分別利用微細電化學加工和微細電火花加工兩種工藝方法進行陣列孔加工,并在加工過程中采用適度間歇抬刀、低壓循環(huán)流動工作液沖刷加工等方法很好地解決了微弧放電、排屑、加工區(qū)溫度過高等等難題。獲得了質量較好的大小30μm~100μm相應的陣列孔