開(kāi)環(huán)加速度傳感器ASIC的研究.pdf

1、加速度傳感器在微系統(tǒng)領(lǐng)域里占有非常重要的地位，論文分析了開(kāi)環(huán)電容式混合集成加速度傳感器的基本工作原理，利用上華提供0.5μmDPDM混合信號(hào)工藝參數(shù)完成了電路和版圖的設(shè)計(jì)。
　　開(kāi)環(huán)電容式加速度傳感器接口電路采用了斬波穩(wěn)定技術(shù)，由時(shí)序發(fā)生器、偏置電壓/電流源、低輸入電容緩沖器、前級(jí)放大器、相關(guān)雙取樣、取樣解調(diào)、后級(jí)放大和濾波這些部分組成。論文中對(duì)各模塊的在整體電路中的作用和性能參數(shù)給出了詳細(xì)的介紹。同時(shí)給出了各模塊電路的設(shè)計(jì)方法和

2、電路圖，利用上華提供的工藝參數(shù)對(duì)整體電路進(jìn)行了模擬并給出主要的性能指標(biāo)如下：電源為5V單電源、量程為±40g、靈敏度為50mV/g、噪聲達(dá)到100μg/Hz、輸出平衡電位為2.5V。其中電路的靈敏度和輸出平衡電位都是可調(diào)的，這樣可以明顯地提高成品率和應(yīng)用范圍。
　　根據(jù)版圖設(shè)計(jì)規(guī)則和一些版圖設(shè)計(jì)技巧完成了整體版圖的設(shè)計(jì)。重點(diǎn)地分析一些版圖中要注意的問(wèn)題并且給出了解決措施。為了提供比較和對(duì)差分電容結(jié)構(gòu)的微小電容偏差進(jìn)行補(bǔ)償，共設(shè)計(jì)三