脈沖離子束在材料表面改性中的應用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、脈沖高能量密度等離子體(Pulsed High Energy Density Plasma簡稱PHEDP)是一項新的材料表面改性技術。它集高電子溫度、高能量密度、高定向速度于一身，在制備薄膜時具有沉積薄膜的溫度低、沉積效率高、能量利用率高的優(yōu)點，并兼具表面濺射、離子注入、沖擊波和強淬火效應等綜合效應；它可以制備納米晶或非晶硬質薄膜，提高基底材料的表面硬度和耐磨、耐蝕性能；能夠實現(xiàn)非金屬材料表面金屬化，所制備薄膜與基底之間存在很寬的混合過

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