硅撓性伺服加速度計設(shè)計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文詳細(xì)論述了一種基于互感系數(shù)變化的用于慣性制導(dǎo)的精密的力平衡加速度計的設(shè)計、分析.加速度計的分辨率、靈敏度閾值和高的熱穩(wěn)定性是設(shè)計時主要考慮的參數(shù).該論文中使用推—挽式長撓性結(jié)構(gòu)來保證低靈敏度閾值，同時保證抗振魯棒性.為了提高熱穩(wěn)定性，該文中討論了利用永久磁鐵作為磁場源;微加工技術(shù)被引入擺組件的結(jié)構(gòu)設(shè)計和利用力矩線圈作為激勵線圈來簡化電感式的檢測裝置.加速度計的設(shè)計量程為0～70g.該文論述的基于互感變化的硅加速度計對于填補國內(nèi)硅加速

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