硅微機械氣流式加速度計的研究.pdf

1、本文研究了一種硅微機械氣流式加速度計，其工作原理是利用熱敏電阻絲敏感密閉腔體中溫度場和流場的變化，來實現加速度測量。它是一種結合了微機械加工技術的氣流式慣性器件，具有體積小，功耗低，抗沖擊能力強等優(yōu)點。 作為硅微機械氣流式加速度計的核心檢測元件，本文分析了熱敏電阻絲的測量原理和選擇方法。在分析自然對流和強迫對流的基礎上，解釋了氣流式加速度計的工作原理和敏感元件的結構原理。根據硅微機械氣流式加速度計敏感元件的結構特點，建立了敏感元

2、件的有限元模型，求解出敏感元件內的流場分布，解釋了硅微機械氣流式加速度計的敏感機理，分析了結構尺寸和熱源溫度對硅微機械氣流式加速度計輸出的影響。 本文還對硅微機械氣流式加速度計進行了工藝研究。給出了敏感結構的加工工藝和封裝技術。設計了信號處理電路，并利用單片機技術，在事先通過實驗獲得傳感器輸出加速度與溫度關系的基礎上，用溫度傳感器跟蹤環(huán)境溫度變化，通過單片機對加速度計進行零位、靈敏度和線性補償，提高了硅微機械氣流式加速度計的穩(wěn)定