表面彈性波馬達(dá)的研究與設(shè)計.pdf

1、該論文以理論分析、計算機(jī)仿真和實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的方法,研究了表面彈性波馬達(dá)技術(shù).主要的研究工作總結(jié)如下:通過對不同介質(zhì)中的彈性波方程和表面彈性波邊界條件的研究,對各向同性、各向異性以及壓電介質(zhì)中的表面彈性波行為進(jìn)行了詳細(xì)的討論.首次探討了用瑞利波近似表面彈性波馬達(dá)定子換能器(厚度遠(yuǎn)大于表面彈性波波長)平板振動模式的有效性.探討了表面彈性波馬達(dá)三種可能的接觸傳動機(jī)理,并以表面彈性波馬達(dá)動子速度與驅(qū)動電壓呈線性的關(guān)系,首次證實(shí)了表面彈性波馬達(dá)的工

2、作原理是接觸摩擦傳動.以計算球體—平面擠壓形變的赫茲公式和計算摩擦力的庫侖定律為基礎(chǔ),建立了表面彈性波馬達(dá)的運(yùn)動模型.并用Euler數(shù)值計算方法對不同工作條件下的表面彈性波馬達(dá)暫態(tài)響應(yīng)做了仿真,揭示了各種因素對表面彈性波馬達(dá)運(yùn)行的影響.詳細(xì)介紹了該課題組首次提出的用原子力顯微鏡微探針與光束偏轉(zhuǎn)法測量納米振動的新方法.并用這種方法在激振電壓峰峰值為3.5V時,對壓電材料LiNbO<,3>表面彈性波進(jìn)行了實(shí)時測量,得到表面彈性波振幅約為6.